Dry Cooling Coil System
DCC 개요
반도체 공장에 있어서 그 FAB 내부에서 요구하는 온·습도조건은 그 생산 제품의 정밀도와 비례하여 극히 높은 수준의 정밀제어가 요구 되어진다. FAB에 공급되어지는 공기는 FAB으로 부터의 Return Air와 Out Air로 부터 공급되어지는 신선 공기를 Mixing 하여 Dry Cooling Coil은 Chilled Water와 Supply측의 2-Way Control V/V를 이용하여 FAB이 요구하는 실내 온도조건을 지속적으로 유지, 공급해주는 열교환 장치이다.
- 많은 풍량으로 인해 잠열 변화를 수반하지 않고, 작은 온도 차의 현열 교환 만으로 Fab 내의 온도를 제어할 수 있는 장치로 Dry Cooling Coil을 사용하게 됩니다.
- Dry Cooling Coil은 결로를 발생시키지 않아 Fin표면에 먼지를 흡착하지 않은 Clean 장비이며 현재까지의 기술로 가장 효율적인 System입니다.
DCC 특징
- 내부에 현열 부하가 많은 장비가 가동 중에 있으며 별도의 열 배기를 행할 수 없는 구조의 Process에 적합합니다.
- 현열 발열 장비이므로 가습 및 감습을 위한 장비는 불필한 Process에 적합합니다.
- 온도 조절은 발열 장비의 용량 및 실내 유지온도의 노점온도에 적정한 수온 관리가 필요합니다.
- 적정한 수온 관리를 통하여 냉각, 감습 부하 감소를 통하여 원가 절감이 가능합니다.
- Coil 전면에 걸친 온도 분포의 균일성을 확보할 수 있으므로 실내의 부위별로 온도 편차를 최소화할 수 있습니다.
DCC 구조 및 명칭
Dry Cooling Coil 3D
코일 단면도
| ① Cooling tube | Copper tube Φ12.7 O.D. × t0.5 | ② Fin | Al Resin coating Fin & Copper Fin (수지코팅, 동착색,동핀) t0.13이상 |
|---|---|---|---|
| ③ Frame | STS304 t2.0 | ④ Return header | Copper pipe 50A with drain plug & ball valve 15A |
| ⑤ Supply header | Copper pipe 50A with air vent & ball valve 15A | ⑥ Return nozzle | Copper pipe 50A |
| ⑦ Supply nozzle | Copper pipe 50A | ⑧ Catwalk | Check plate 3.2t |
| ① Cooling tube | Copper tube Φ12.7 O.D. × t0.5 |
|---|---|
| ② Fin | Al Resin coating Fin & Copper Fin (수지코팅, 동착색,동핀) t0.13이상 |
| ③ Frame | STS304 t2.0 |
| ④ Supply header | Copper pipe 50A with drain plug & ball valve 15A |
| ⑤ Return header | Copper pipe 50A with drain plug & ball valve 15A |
| ⑥ Return nozzle | Copper pipe 50A |
| ⑦ Supply nozzle | Copper pipe 50A |
| ⑧ Catwalk | Check plate 3.2t |
DCC 설계 방법
DRY COOLING COIL 설계시 반드시 공기와 물의 열교환 방식은 온도분포가 우수한 대향류방식 또는 평행류 방식으로 설계할것.
| 구분 | 적용분야 |
|---|---|
| 대향류형 | • 일반공기조화기 • DRY COIL |
| 평행류 | • 온도 CONTROL용 • DRY COIL |
COIL CIRCULT 구성은 반드시 COIL 표면에 온도분포가 일정하게 배열, 유지될 수 있도록 FULL CIRCUIT를 구성 하여야 한다.
| 구분 | FULL CIRCUIT | HALF CIRCUIT | DOUBLE CIRCUIT |
|---|---|---|---|
| 유속 | 설계유속과 일치 | 설계 유속의 2배 | 설계 유속의 1/2배 |
| 열교환 능력 | 설계치와 동일 | 설계치보다 높다 | 설계치보다 낮다 |
| TUBE 부식성 | 설게치와 유사 | 설계치보다 짧다 | 설계치보다 길다 |
| 온도분포 | 등분포 | 온도 편차가 존재 | 온도 편차가 존재 |
DCC Flow Chart
